弊社の技術紹介
技術
- GSRセンサ原理の紹介
GSRセンサの原理は、GHzパルスによる最表面スピンの一斉超高速回転現象をマイクロコイルで検知するもので、検出力はパルス周波数の平方根とコイル巻き数に比例して増加する。開発したGSRセンサは、MIセンサに比べて、パルス周波数を10MHzから1GHzに増加させ、微細コイルの採用で巻き数を10倍にすることで、100倍の感度性能を実現することが可能である。
- GSR素子商品、サンプルの紹介
現在試作しているGSR素子の性能は、コイルピッチ５μｍを基本として、素子長さを0.1㎜、0.2㎜、0.25mm、0.9㎜と変えて測定レンジを６Gから100Gまで制御したものである。感度は、３ｍV/Gから400ｍV/Gまでに調整している。
- 3次元フォトリソの紹介
GSRセンサの原理図を図1に示す。その製作工程である3次元フォトリソ工程は、溝とワイヤとからなる凹凸面上に微細描画と特徴とする技術で、その概要を図２に示す。注目すべき新技術は、凹凸面に微細描画する技術（図３）と直径10μmのアモルファスワイヤを深さ７µmの溝に整列する技術（図４）である。
- 共同研究について
商品開発について、ウェアラブルコンピュータ用の磁気ジャイロコンパス、生体磁気検知用ｐT（ピコテスラ）センサおよび自動車用磁気センサ以外にも、カテーテル内超小型センサ、計測器用ｐTセンサ、電流センサなど、いろいろなメーカと共同開発を行っています。共同開発にあたって、当社から、素子サンプルをよび電子回路EVK(アナログ出力)を提供させていただきます。またセンサシステム評価用のプログラム内蔵のEVK（デジタル出力）についても対応させていただきます。
特許・商標
主な特許は、ＧＳＲセンサの原理特許、ＧＳＲ素子の構造特許、ＧＳＲセンサの回路特許、ワイヤ整列特許、ワイヤ熱処理特許、生体磁気検出特許、磁気ジャイロ特許および透磁率測定特許の１２件です。
外国特許は、ＧＳＲセンサの原理特許など４件取得。
１２件出願中。
資料:保有特許一覧表
