講義録

2018年3月30日 技術者協会発行図書に論文

技術者協会発行図書「個性材料・部品の最新開発事例と応用技術」に論文「GSR効果を活用した超高感度マイクロ磁気センサの開発」を投稿しました。

要約

GSRセンサは、GHzパルスによるアモルファスワイヤの最表面の電子スピンの回転を検出コイルで検知するものである。2015年に発見されたばかりで、3次元フォトリソグラフィー技術によるマイクロコイルの作製とGHzパルス回路を技術的基盤としており、その要素技術の基礎研究は始まったばかりである。コイルの微細化は、コイルピッチは30μmから5μm、ワイヤ整列間隔も400μmから20μm、と微細化している。将来コイルピッチは0.5μm、ワイヤ整列間隔は12μmレベルの微細化が実現すると思われる。GSRセンサに適合したGHzパルス回路の研究が必要と思われる。

IOT時代を迎えて自動車分野、スマート時計などのデジタルモバイル機器、医療分野など超高感度マイクロ磁気センサのニーズが高まっており、GSRセンサを活用した画期的な磁気センサの商品開発が期待されている。

 

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